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MFC800系列气体质量流量控制器

产品概述

MFC800系列气体质量流量控制器,为工业和科学研究领域长期可靠工作而设计。利用热扩散原理及PID控制原理,测量和控制小管道的气体质量流量输出,不需要温度和压力补偿。以性能可靠、安装方便和价格合理得以大量应用。

产品特点

☆用于多种气体质量流量控制,如CO,Ar,CF4,O2,N2,H2,C2H4,C2F6,NF3,SIF4

☆测量范围:从0-5sccm  0-1500slm

☆精度:1.0%F.S.

☆量程比:最小100:1

☆重复性:0.25%

☆响应时间:1.0S

☆过程温度:0-50

☆过程压力:0-8MPa

☆供电:24VDC

☆输出:0-5V,4-20mA,RS232

☆管道材质:316L

☆连接标准:1/4英寸,3/8英寸,1/2英寸,3/4英寸

产品应用

l  实验室,泄漏检测

l  医学,气体合成

l  科学研究,过程控制

l  制药,半导体工业


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